非接觸式wafer/Solar cell取放裝置
產品型號:ZS-Handlling LeviWafer-Gripper
產品分類:抓取/置放設備
廠商名稱:茂太科技股份有限公司
攤位號碼:N-602
產品特色
EFEM非接觸式wafer取放裝置 採用超音波懸浮技術,適用於超薄矽晶圓與玻璃基板等。
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