非接觸式wafer/Solar cell取放裝置

 

產品型號：ZS-Handlling LeviWafer-Gripper

產品分類：抓取/置放設備

廠商名稱：茂太科技股份有限公司

攤位號碼：N-602

 

產品特色

 

EFEM非接觸式wafer取放裝置 採用超音波懸浮技術，適用於超薄矽晶圓與玻璃基板等。

 

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