線性氣浮平台

產品型號：線性氣浮平台

攤位號碼：M-927

線性氣浮平台，屬非接觸式傳動設計，能提供絕佳的速度穩定性，適合移載中作業的產業應用。特點包括：低重心平台設計，大幅提升設備動態剛性、無摩擦損耗，不用定期更換導軌元件、無需油脂潤滑導軌，保養簡易又迅速。可應用於晶圓切割、外觀及缺陷檢測、雷射加工、掃描式光學檢測以及噴塗應用。