常壓電漿設備

產品型號：瀑布式 / 噴射式 / 陣列式 / 電刷式

攤位號碼：L-714

產品特色

在全球常壓式(大氣式)電漿技術發展領域，暉盛科技首創瀑布式電漿處理機(NEMST-Waterfall2008)，其最大特點為大面積、連續式進行材料表面的清洗與活化，完全擺脫傳統的常壓電漿小噴頭無法處理大面積材料的困境；甚至可直接採用空氣(CDA)來產生電漿，大大降低反應氣體的成本。反觀傳統的常壓電漿技術，需要同時加入大量穩定電漿的氣體(Ar, He)以及大量反應氣體(O2, N2)，導致運作成本昂貴。常壓瀑布式電漿處理機可應用於濕式製程的前處理，舉凡蝕刻、電鍍、去膠渣、清洗等製程，均可先採用瀑布式電漿進行板面表面的處理，改善板面的潔淨度與濕濡性，以提高各種製程的良率。此外，軟板業界(FCCL, FPC)常用的CORONA設備，由於產生之離子密度過於稀薄，導致清潔效果不彰及均勻度不佳等問題，均可藉由NEMST-Waterfall2008來大幅改善接著的效能。

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