8吋無光罩直接成像微影設備

產品型號：PicoMaster XF200

攤位號碼：L-929

主要特點: - 多光束寫入策略 - 最高解析度 0.6 μm - 0.6 μm 解析度下寫入速度高達 280 mm2/min - 256階即時灰階微影 - 即使在具有挑戰性的基材上也能進行自動對焦 - 最大 200X200mm 直寫區域 - 無接縫直寫