8吋無光罩直接成像微影設備
產品型號：Raith PicoMaster XF200
產品分類：直接成像機
廠商名稱：茂太科技股份有限公司
攤位號碼：N-602
產品特色
主要特點: - 多光束寫入策略 - 最高解析度 0.6 μm - 0.6 μm 解析度下寫入速度高達 280 mm2/min - 256階即時灰階微影 - 即使在具有挑戰性的基材上也能進行自動對焦 - 最大 200X200mm 直寫區域 - 無接縫直寫
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