高精細自動曝光設備
產品型號：ADEX5300M series
產品分類：曝光機
廠商名稱：連達國際股份有限公司
攤位號碼：M-1103
產品特色
●分割曝光數:1、2、3、4、6分割對應 ●解析對應:L/S-30/30um SRO=ψ50um ●對位精度:±3um
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